In-situ Visualisierung von Oberflächendeformationen aufgr...
Bei der Herstellung von modernen Bauteilen, z. B. Displays, werden komplexe Substrate mit z. B. Leiterbahnen und Vorstrukturierungen ganzflächig flüssig beschichtet und getrocknet. Die Oberflächen dieser Schichten müssen häufig eine sehr genau spezifizierte Güte besitzen. Daher ist es wichtig, die Entstehung von Oberflächenverformungen zu verhindern. Diese Arbeit stellt die grundlegenden Mechanismen dar und beschreibt die Visualisierungstechnik zur Untersuchung von Oberflächendeformationen ...